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| 类金刚石薄膜的光学性能的研究 |
| Study on the optical properties of the diamond-like carbon films |
| 修订日期:2003-11-30 |
| DOI: |
| 中文关键词: 类金刚石薄膜,脉冲电弧,光学性能,物理汽相沉积,化学汽相沉积 |
| 英文关键词:diamond-like carbon films,pulsed arc,optical properties,PVD,CVD |
| 基金项目:总装"十五"科研资助项目(41318.6.24) |
| 梁海锋 严一心 |
| 西安工业学院薄膜技术与光学检测重点实验室,西安工业学院薄膜技术与光学检测重点实验室 陕西西安710032,陕西西安710032 |
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| 中文摘要: |
| 利用脉冲真空电弧镀的方法,在硅基底上沉积类金刚石薄膜,研究薄膜的光学性能、光学常数和离子能量关系。结果表明:不同的离子能量可以得到不同折射率的薄膜,无氢类金刚石薄膜的折射率在2.5~2.7之间变化;通过改变工艺条件来制备不同折射率的薄膜,和不同折射率的基底材料相互匹配;折射率和光学能隙随离子能量具有相反的变化趋势,和理论预测的趋势相一致;对于硅、锗等红外材料,要求的薄膜应具有1.8~2.1左右的折射率,因此提出一种基于物理汽相沉积和化学汽相沉积两种相互结合的方法,来降低薄膜的折射率,以达到和硅、锗等材料的折射率匹配。 |
| 英文摘要: |
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