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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
新型减反膜的设计与制备
Design and fabrication of new anti reflection coatings
  修订日期:2003-11-30
DOI:
中文关键词:  减反膜,薄膜工艺,金属膜,薄膜设计
英文关键词:AR coating,coating process,metal film,coating design
基金项目:
李芳  林永昌  刘育梁
中国科学院半导体研究所集成光学国家重点实验室,北京理工大学光电工程系,中国科学院半导体研究所集成光学国家重点实验室 北京100083,北京100081,北京100083
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中文摘要:
      根据近年来实际应用中对减反膜的新的需求和指标要求,利用光学薄膜设计软件进行模拟和理论分析,采用常规的薄膜工艺和设备进行大量实验,设计并制备出三种新型的减反膜:含金属膜的减反膜(包括窄带金属减反膜,宽带金属减反膜,减反防静电抗电磁辐射膜),超低反射率减反膜和大角度减反膜,满足了实际器件的应用要求。
英文摘要:
      Three kinds of new anti reflection coatings are designed and fabricated by the use of optical coating design software analysis, general coating process and coating equipment. The AR coatings include: anti reflection coating with metal layer (narrow bandwidth, wide bandwidth and anti reflection coating with electrical static potential and magnetic shielding),ultra low AR coatings and large angle AR coatings meeting the requirement.
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