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| 自动控制离子束溅射沉积光学薄膜系统设计 |
| Design of autocontrol coating process for ion beam sputter system |
| 修订日期:2003-11-30 |
| DOI: |
| 中文关键词: 离子束溅射,时间监控,光电传感器,自动化控制 |
| 英文关键词:ion beam sputter,time-power control,photoelectric switch,autocontrol |
| 基金项目: |
| 刘洪祥 李凌辉 申林 熊胜明 张云洞 |
| 中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所 四川成都610209,四川成都610209,四川成都610209,四川成都610209,四川成都610209 |
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| 中文摘要: |
| 利用射频离子源RF—2001控制器USERINTERFACE接口具有遥控开关控制的功能,采用继电器控制输出及开关量隔离输入卡DAC—7325E,通过光电传感器对靶转动定位、行星转动系统的监控,在国产IBSD—1000型离子束溅射镀膜系统上,首次成功地实现了单、双离子束溅射沉积镀膜过程的自动化控制。控制软件采用VB编程,程序控制界面直观、易于操作。 |
| 英文摘要: |
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