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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
自动控制离子束溅射沉积光学薄膜系统设计
Design of autocontrol coating process for ion beam sputter system
  修订日期:2003-11-30
DOI:
中文关键词:  离子束溅射,时间监控,光电传感器,自动化控制
英文关键词:ion beam sputter,time-power control,photoelectric switch,autocontrol
基金项目:
刘洪祥  李凌辉  申林  熊胜明  张云洞
中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所 四川成都610209,四川成都610209,四川成都610209,四川成都610209,四川成都610209
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中文摘要:
      利用射频离子源RF—2001控制器USERINTERFACE接口具有遥控开关控制的功能,采用继电器控制输出及开关量隔离输入卡DAC—7325E,通过光电传感器对靶转动定位、行星转动系统的监控,在国产IBSD—1000型离子束溅射镀膜系统上,首次成功地实现了单、双离子束溅射沉积镀膜过程的自动化控制。控制软件采用VB编程,程序控制界面直观、易于操作。
英文摘要:
      
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