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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
结晶氮化碳薄膜
  
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中文摘要:
      由武汉化工学院研究的“脉冲电弧放电电离有机溶液制备 (类 )金刚石薄膜”装置 ,不久前调试成功。用此装置可以高质量地沉淀出一种物理性能和金刚石相比的材料——氮化碳结晶。氮化碳晶体具有高硬度、宽带隙、高热导率和低摩擦系数等优点 ,在机械和光电子及军事等领域具有巨大的应用前景。目前合成氮化碳薄膜的实验方法主要有激光烧蚀石墨靶 ,反应溅射 ,等离子体化学气相沉积和离子注入等。该发明采用脉冲电弧放电等离子体技术 ,可以在大气压环境、2 0 0℃~ 30 0℃的衬底温度下 ,合成晶态氮化碳薄膜 ,薄膜的沉积速率可达 3μm/h~ 5μm/h。…
英文摘要:
      
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