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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调
Design and simulated alignment of EUVL optics used with eccentric aperture and off-axis illumination
  修订日期:2002-12-30
DOI:
中文关键词:  极紫外投影光刻,Schwarzschild投影物镜,计算机辅助装调
英文关键词:EUVL,Schwarzschild optics,computer-aided alignment
基金项目:国家自然科学基金重点项目 ( 6993 80 2 0 ),中国科学院创新基金项目
林强  金春水  向鹏  马月英  裴舒  曹健林
中科院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 吉林长春130022 (林强,金春水,向鹏,马月英,裴舒)
,中科院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 吉林长春130022(曹健林)
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中文摘要:
      针对极紫外投影光刻 ( Extreme Ultraviolet Lithography,简称 EUVL)工作波长短的特点及由此带来的一些问题 ,对 EUVL微缩投影物镜的结构参数进行分析选择 ,设计了离轴照明方式的 Schwarzschild微缩投影成像物镜。利用基于奇异值分解的牛顿迭代法对敏感矩阵进行分解 ,求出相应失调量的大小 ,以实现系统的精密装调
英文摘要:
      
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