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| 偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调 |
| Design and simulated alignment of EUVL optics used with eccentric aperture and off-axis illumination |
| 修订日期:2002-12-30 |
| DOI: |
| 中文关键词: 极紫外投影光刻,Schwarzschild投影物镜,计算机辅助装调 |
| 英文关键词:EUVL,Schwarzschild optics,computer-aided alignment |
| 基金项目:国家自然科学基金重点项目 ( 6993 80 2 0 ),中国科学院创新基金项目 |
| 林强 金春水 向鹏 马月英 裴舒 曹健林 |
中科院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 吉林长春130022
(林强,金春水,向鹏,马月英,裴舒) ,中科院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 吉林长春130022(曹健林)
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| 中文摘要: |
| 针对极紫外投影光刻 ( Extreme Ultraviolet Lithography,简称 EUVL)工作波长短的特点及由此带来的一些问题 ,对 EUVL微缩投影物镜的结构参数进行分析选择 ,设计了离轴照明方式的 Schwarzschild微缩投影成像物镜。利用基于奇异值分解的牛顿迭代法对敏感矩阵进行分解 ,求出相应失调量的大小 ,以实现系统的精密装调 |
| 英文摘要: |
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