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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
光开关中静电驱动的微悬臂梁耦合分析
The sequential coupling analysis of a cantilever driving by electrostatic force in an optical switch
  修订日期:2002-11-13
DOI:
中文关键词:  悬臂梁,静电力,顺序耦合
英文关键词:cantilever beam,electrostatic force,sequential coupling,
基金项目:国家自然科学基金项目 ( 5 0 2 75 12 7)
马海阳  王艳华  王明亮  孙道恒
厦门大学机电工程系 福建厦门361005 (马海阳,王艳华,王明亮)
,厦门大学机电工程系 福建厦门361005(孙道恒)
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中文摘要:
      采用顺序耦合法 ,对光开关中的、静电驱动的悬臂梁进行分析 ,得出了悬臂梁的动态响应特性 ,并指出了空气阻尼对器件性能的影响 ,为微机械传感器的设计提供了有力的分析方法
英文摘要:
      In the article a sequence coupling method is used for the analysis of a cantilever beam in an optical switch , which is drived by electrostatic force. From the analysis , the dynamic character of the beam has been gained, that pointing out the influence of air damping. The method is a powerful method for designing sensors of Micro Electronics Mechanical System(MEMS).
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