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| Nomarski偏光棱镜设计 |
| Design of Nomarski briefringent prisms |
| 修订日期:2002-06-03 |
| DOI: |
| 中文关键词: Nomarski棱镜,分束角,相干平面 |
| 英文关键词:Nomarski prisms,splitting angle,plane of apparent splitting |
| 基金项目:国家自然科学基金资助项目 (10 1760 10 ) |
| 杨险峰 叶梅 等 |
华中科技大学仪器系 湖北武汉430074
(杨险峰,叶梅) ,华中科技大学仪器系 湖北武汉430074(叶虎年)
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| 中文摘要: |
| 阐述了 Nomarski棱镜的基本设计理论 ,以实例进行了光学系统公式的演算。并用 Matlab程序具体计算了有关参数 ,通过对结果的分析 ,设计出了能应用于精密显微测量实际的偏光棱镜 |
| 英文摘要: |
| The paper introduces the basic theory of designing Nomarski prisms, calculates optical system formula by instance. Using Matlab programmes, relevant parameters are calculated. By analyzing the result, briefringent prisms can be applied to the high precision micro measurement are designed. |
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