用户登录
期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
衍射光学器件的激光辅助制造
Laser aided fabrication of diffractive optical element
  
DOI:
中文关键词:  衍射光学器件  激光直写系统  衍射效率  光强控制  坐标定位  自动对焦
英文关键词:
基金项目:
梁宜勇  杨国光
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027? ?
摘要点击次数: 1965
全文下载次数: 8
中文摘要:
      衍射光学器件DOE是基于衍射光学原理制成的微光学器件.采用类似于微电子加工手段的激光辅助制造技术--激光直写技术,可以制作具有高衍射效率的DOE.激光直写系统的性能,比如光强控制、坐标定位以及自动对焦等,直接影响制成器件的衍射效率.最后对曲面衍射光学器件激光辅助制造的关键技术进行了分析.
英文摘要:
      
HTML   查看全文  查看/发表评论  下载PDF阅读器
关闭