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| 光电位置传感器PSD特性及其应用 |
| Characterisitics of optoelectronic position sensitive detector and its application |
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| DOI: |
| 中文关键词: 位置传感器 光电器件 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 曾超 李锋 徐向东 |
| 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,杭州,310027?
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| 中文摘要: |
| 对光电位置传感器PSD的结构、工作原理、特性进行了分析和概述;并介绍了PSD在二维定位测量中的应用;最后分析了造成系统误差的主要原因. |
| 英文摘要: |
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