|
| 衍射光学器件的激光辅助制造 |
| Laser aided fabrication of diffractive optical element |
| 修订日期:2002-06-30 |
| DOI: |
| 中文关键词: 衍射光学器件 激光直写系统 衍射效率 光强控制 坐标定位 自动对焦 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 梁宜勇 杨国光 |
梁宜勇(浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027) ;杨国光(浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027)
|
| 摘要点击次数: 1909 |
| 全文下载次数: 11 |
| 中文摘要: |
| 衍射光学器件DOE是基于衍射光学原理制成的微光学器件.采用类似于微电子加工手段的激光辅助制造技术--激光直写技术,可以制作具有高衍射效率的DOE.激光直写系统的性能,比如光强控制、坐标定位以及自动对焦等,直接影响制成器件的衍射效率.最后对曲面衍射光学器件激光辅助制造的关键技术进行了分析. |
| 英文摘要: |
| |
| HTML 查看全文 查看/发表评论 下载PDF阅读器 |
| 关闭 |
|
|
|