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| SEM—EPMA中电磁物镜工作距离的探讨 |
| A discussion about the working distance of magnetic electron objective of SEM-EPMA |
| 修订日期:2001-06-01 |
| DOI: |
| 中文关键词: 工作距离,物镜 |
| 英文关键词:working distance,objective |
| 基金项目: |
| 江家蓥 |
南京江南光电(集团) 股份有限公司 江苏南京210037 |
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| 中文摘要: |
| 讨论了物镜工作距离 l和像差系数 Cs、Cc的关系 l/Cs、l/Cc,计算了几种透镜参数下它们的数值并绘成曲线 |
| 英文摘要: |
| The relation l/Cs, l/Cc between the working distance l of objective and aberations Cs, Cc is discussed in the paper. Their value for different parameters of objective are calculated and graphed. |
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