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| HOM系列高精度光学膜厚监控系统的研制 |
| HOM series hi-precision optical thickness monitor |
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| DOI: |
| 中文关键词: 镀膜,光学膜厚监控,DWDM滤光片 |
| 英文关键词:coating,optical monitoring,DWDM filter |
| 基金项目: |
| 龚健 孙大雄 李刚正 |
株式会社光驰(OPTORUN) 日本琦玉县川越市350-0801
(龚健,孙大雄) ,株式会社光驰(OPTORUN) 日本琦玉县川越市350-0801(李刚正)
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| 中文摘要: |
| 叙述了新研制的适用于 DWDM窄带滤光片成膜控制的高精度光学膜厚监控系统。该系统在光谱带宽 0 .1 nm条件下 ,暗噪声小于± 0 .0 0 5 % ,性能优于目前的报道。使用它已成功地实现了 1 0 0 GHz,5 0 GHz DWDM窄带滤光片全自动成膜监腔。由其派生出的HOM系列的其他类型光学膜厚监控系统 ,可适用于不同的优质膜的过程控制 |
| 英文摘要: |
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