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| 热处理对V_2O_5薄膜的结构及光学性能的影响 |
| Influence of annealing on structure and optical properties of vanadium pentoxide |
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| DOI: |
| 中文关键词: V2O5,光学性能,热处理,结构 |
| 英文关键词:vanadium pentoxide,optical property,annealing,structure |
| 基金项目: |
| 汤兆胜 范正修 邵建达 |
中国科学院上海光学精密机械研究所 上海201800
(汤兆胜,范正修) ,中国科学院上海光学精密机械研究所 上海201800(邵建达)
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| 中文摘要: |
| 用射频平面磁控溅射法在 Ar/O2 气氛中溅射 V2 O5粉末靶制得 V2 O5薄膜 ,然后在大气中对样品薄膜作 2 5 0℃~ 40 0℃的热处理试验。用 XRD分析表明薄膜随着热处理温度的升高 ,除了晶粒尺寸不断长大以外 ,薄膜的组分也在发生不断的变化 ,在低温下处理时出现的某些结构在高温处理后消失 ,同样在高温下处理后也出现了一些低温下没有出现的新结构。这种结构变化导致在 30 0℃以下的温度处理后的薄膜在可见光和近红外波段都有异常大的吸收 ;在 35 0℃以上的温度处理后的薄膜在可见光和近红外波段的吸收显著地减小。 |
| 英文摘要: |
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