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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
用于辅助镀膜的霍尔等离子体源
The hall accelerater for assisted deposition
  
DOI:
中文关键词:  光学镀膜,离子束辅助镀膜,等离子体加速
英文关键词:optical coating,ion assisted deposition,plasma accelerates
基金项目:
尤大伟  黄小刚  武建军
中国科学院空间科学与应用研究中心 北京100080 (尤大伟,黄小刚)
,中国科学院空间科学与应用研究中心 北京100080(武建军)
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中文摘要:
      论述了该源的工作原理 ,讨论并测试了该源最佳的磁场及分布。设计采用了永久磁铁并利用极靴产生发散磁 ,沿轴向有较大梯度的磁场 ,又称该源为端部霍尔加速器。最后给出了束流及均匀区实测结果
英文摘要:
      The design of the hall accelerater and the optimum magnetic structure were presented. The permenent magnet was applied. The pole pieces were arranged to obtain the divergent magnetism and strong magnetism gradient along axial direction. The design gives us a good results.
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