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| 用于辅助镀膜的霍尔等离子体源 |
| The hall accelerater for assisted deposition |
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| DOI: |
| 中文关键词: 光学镀膜,离子束辅助镀膜,等离子体加速 |
| 英文关键词:optical coating,ion assisted deposition,plasma accelerates |
| 基金项目: |
| 尤大伟 黄小刚 武建军 |
中国科学院空间科学与应用研究中心 北京100080
(尤大伟,黄小刚) ,中国科学院空间科学与应用研究中心 北京100080(武建军)
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| 中文摘要: |
| 论述了该源的工作原理 ,讨论并测试了该源最佳的磁场及分布。设计采用了永久磁铁并利用极靴产生发散磁 ,沿轴向有较大梯度的磁场 ,又称该源为端部霍尔加速器。最后给出了束流及均匀区实测结果 |
| 英文摘要: |
| The design of the hall accelerater and the optimum magnetic structure were presented. The permenent magnet was applied. The pole pieces were arranged to obtain the divergent magnetism and strong magnetism gradient along axial direction. The design gives us a good results. |
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