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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
光学镀膜用大束密均匀区离子源
An ion source with good beam current density uniformity for optical films deposition
  
DOI:
中文关键词:  离子源,束流密度,均匀性
英文关键词:ion source,beam current density,uniformity
基金项目:
况园珠  郑保民  李安杰
中国科学院空间科学与应用研究中心 北京100080 (况园珠,郑保民)
,中国科学院空间科学与应用研究中心 北京100080(李安杰)
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中文摘要:
      介绍一个适用于光学镀膜用的直径为1 2 0 mm的大束密均匀区离子源的结构设计及性能参数 ,并对影响束密均匀性的因素进行了讨论
英文摘要:
      
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