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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
高质量光学薄膜制备用新型无栅霍尔离子束辅助镀膜系统
A new type gridless hall ion beam assisted deposition system for preparing high quality optic thin films
  
DOI:
中文关键词:  无栅霍尔离子源,离子束辅助沉积,光学薄膜
英文关键词:gridless hall ion source,ion beam assisted deposition,optic thin film
基金项目:
冯毓材  江建国
北京东方安泰克高技术有限公司 北京100101 (冯毓材)
,北京光电技术研究所 北京100010(江建国)
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中文摘要:
      介绍一种无栅霍尔离子束辅助镀膜系统。并对该系统的特点、性能和应用结果作了叙述。
英文摘要:
      This paper introduces a gridless Hall ion beam assisted deposition system.In this paper,the feature and performance of this ion surce are described.The preliminary results for preparing optic thin films are presented.
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