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| 高质量光学薄膜制备用新型无栅霍尔离子束辅助镀膜系统 |
| A new type gridless hall ion beam assisted deposition system for preparing high quality optic thin films |
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| DOI: |
| 中文关键词: 无栅霍尔离子源,离子束辅助沉积,光学薄膜 |
| 英文关键词:gridless hall ion source,ion beam assisted deposition,optic thin film |
| 基金项目: |
| 冯毓材 江建国 |
北京东方安泰克高技术有限公司 北京100101
(冯毓材) ,北京光电技术研究所 北京100010(江建国)
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| 中文摘要: |
| 介绍一种无栅霍尔离子束辅助镀膜系统。并对该系统的特点、性能和应用结果作了叙述。 |
| 英文摘要: |
| This paper introduces a gridless Hall ion beam assisted deposition system.In this paper,the feature and performance of this ion surce are described.The preliminary results for preparing optic thin films are presented. |
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