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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
宽光谱膜厚监控仪的研制
Development the instrument of monitoring the thickness of film by wideband spectrum
  
DOI:
中文关键词:  宽光谱,镀膜,CCD
英文关键词:wide band spectrum,coating,CCD,
基金项目:
周鹏飞  陈桂莲  张荣福
上海理工大学光电学院 上海200093 (周鹏飞,陈桂莲)
,上海理工大学光电学院 上海200093(张荣福)
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中文摘要:
      在介绍宽光谱膜厚监控原理和评价函数的基础上 ,重点介绍系统硬件和软件组成 ,最后给出该仪器的实验结果并对其精度进行分析。
英文摘要:
      The paper presents the principle of monitoring the thickness or thin film by wideband spectrum,especially introduces the components of both hardware and software,and then analyzes the precision of the instrument and gives the result of experiment.
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