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| 宽光谱膜厚监控仪的研制 |
| Development the instrument of monitoring the thickness of film by wideband spectrum |
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| DOI: |
| 中文关键词: 宽光谱,镀膜,CCD |
| 英文关键词:wide band spectrum,coating,CCD, |
| 基金项目: |
| 周鹏飞 陈桂莲 张荣福 |
上海理工大学光电学院 上海200093
(周鹏飞,陈桂莲) ,上海理工大学光电学院 上海200093(张荣福)
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| 中文摘要: |
| 在介绍宽光谱膜厚监控原理和评价函数的基础上 ,重点介绍系统硬件和软件组成 ,最后给出该仪器的实验结果并对其精度进行分析。 |
| 英文摘要: |
| The paper presents the principle of monitoring the thickness or thin film by wideband spectrum,especially introduces the components of both hardware and software,and then analyzes the precision of the instrument and gives the result of experiment. |
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