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| BF的光学薄膜 |
| Optical thin films in BF |
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| DOI: |
| 中文关键词: 光学薄膜,滤光片,淀积过程 |
| 英文关键词:optical thin film,optical filter,deposition process |
| 基金项目: |
| 赵福庭 胡泉兴 李建华 |
北京电影机械研究所 北京100026
(赵福庭,胡泉兴) ,北京电影机械研究所 北京100026(李建华)
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| 中文摘要: |
| 叙述了近年在北京电影机械研究所 ( BF)研发的光学薄膜元器件 ,讨论了其中的技术要点。同时对所采用的离子辅助技术及膜层厚度监控技术进行了讨论 |
| 英文摘要: |
| This paper describes several kinds of optical thin films elements manufactured Some technical points are discussed.IAD process and optical monitoring technique which have been used for many years are also introduced. |
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