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| Ge-Sb-Te-O相变薄膜的光学性质研究 |
| Optical properties of Ge-Sb-Te-O phase-change films |
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| DOI: |
| 中文关键词: Ge-Sb-Te-O,相变薄膜,氧掺杂,反射率对比度,光存储 |
| 英文关键词:Ge Sb Te O,phase change films,oxygen doping,reflectivity contrast,optical storage |
| 基金项目:国家自然科学基金重点项目 ( 5 9832 0 6 0 ) |
| 顾四朋 侯立松 曾贤成 赵启涛 |
中国科学院上海光学精密机械研究所 上海201800
(顾四朋,侯立松,曾贤成) ,中国科学院上海光学精密机械研究所 上海201800(赵启涛)
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| 中文摘要: |
| 研究了单层 Ge- Sb- Te- O射频溅射薄膜在 40 0 nm~ 80 0 nm区域的光学常数 ( N,K)和反射、透射光谱 ,发现适当的氧掺杂能增加退火前后反射率对比度 ,因此 ,可以通过氧掺杂改良 Ge- Sb- Te相变材料的光存储性能 |
| 英文摘要: |
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