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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
光学薄膜淀积的计算机仿真
Computer simulation of optical thin film deposition
  
DOI:
中文关键词:  薄膜淀积,极值监控法,计算机模拟
英文关键词:thin film depositon,turning point monitoring,computer simulation
基金项目:
杨明红  刘劲松  陈清明  张波
华中理工大学激光技术国家重点实验室 湖北武汉430074 (杨明红,刘劲松,陈清明)
,华中理工大学激光技术国家重点实验室 湖北武汉430074(张波)
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中文摘要:
      介绍了利用计算机对光学薄膜淀积过程进行仿真 ,编写了基于 Matlab的计算机仿真程序。对采用反射率极值法监控的镀膜系统的薄膜淀积结果以及薄膜淀积过程中监控片透射率的实时变化进行了模拟 ,根据模拟结果所计算的薄膜的光学特性曲线与成膜的实测结果一致。
英文摘要:
      Computer simulation of optical thin film deposition is explained in this paper.Computer emlutor based on Matlab is composed,real time simulations of coating system deposition with the method of reflectivity turning point and monitoring chip transmittance are done.The optical charactical curve by simulation is in tone with real measurement.
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