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| 有限元法计算膜厚均匀性 |
| Simulating uniformity of film thickness with finite-cells method |
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| DOI: |
| 中文关键词: 膜厚均匀性,发射特性,蒸发源的旋转与倾斜 |
| 英文关键词:film thickness uniformity,emissive parameter,deflection of evaporator, |
| 基金项目: |
| 阴晓俊 费书国 章月州 孔志坤 |
沈阳仪器仪表工艺研究所 辽宁沈阳110043
(阴晓俊,费书国,章月州) ,沈阳仪器仪表工艺研究所 辽宁沈阳110043(孔志坤)
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| 中文摘要: |
| 利用有限元法模拟计算了旋转平面夹具、旋转球面夹具、行星旋转球面夹具的膜厚均匀性 ,分析了均匀性的影响因素 ,指出了工艺中的调整方法 |
| 英文摘要: |
| In this paper,finite cells method is used to simulate the film thickness uniformity.Three different holders including rotating plane holder,rotating sphere holder,planet rotating sphere holder are discussed.The influencing parameters of film thickness uniformity,and the method of adjusting the parameters are studied. |
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