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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
HOM系列高精度光学膜厚监控系统的研制
HOM series hi-precision optical thickness monitor
  修订日期:2000-08-30
DOI:
中文关键词:  镀膜  光学膜厚监控  DWDM滤光片
英文关键词:
基金项目:
龚健  孙大雄  
龚健(株式会社光驰OPTORUN 日本琦玉县川越市350-0801)
;孙大雄(株式会社光驰OPTORUN 日本琦玉县川越市350-0801)
;李刚正(株式会社光驰OPTORUN 日本琦玉县川越市350-0801)
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中文摘要:
      叙述了新研制的适用于DWDM窄带滤光片成膜控制的高精度光学膜厚监控系统.该系统在光谱带宽0.1nm条件下,暗噪声小于±0.005%,性能优于目前的报道.使用它已成功地实现了100GHz,50GHzDWDM窄带滤光片全自动成膜监腔.由其派生出的HOM系列的其他类型光学膜厚监控系统,可适用于不同的优质膜的过程控制.
英文摘要:
      
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