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| HOM系列高精度光学膜厚监控系统的研制 |
| HOM series hi-precision optical thickness monitor |
| 修订日期:2000-08-30 |
| DOI: |
| 中文关键词: 镀膜 光学膜厚监控 DWDM滤光片 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 龚健 孙大雄 等 |
龚健(株式会社光驰OPTORUN 日本琦玉县川越市350-0801) ;孙大雄(株式会社光驰OPTORUN 日本琦玉县川越市350-0801) ;李刚正(株式会社光驰OPTORUN 日本琦玉县川越市350-0801)
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| 中文摘要: |
| 叙述了新研制的适用于DWDM窄带滤光片成膜控制的高精度光学膜厚监控系统.该系统在光谱带宽0.1nm条件下,暗噪声小于±0.005%,性能优于目前的报道.使用它已成功地实现了100GHz,50GHzDWDM窄带滤光片全自动成膜监腔.由其派生出的HOM系列的其他类型光学膜厚监控系统,可适用于不同的优质膜的过程控制. |
| 英文摘要: |
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