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| 高质量光学薄膜制备用新型无栅霍尔离子束辅助镀膜系统 |
| A new type gridless hall ion beam assisted deposition system for preparing high quality optic thin films |
| 修订日期:2001-08-30 |
| DOI: |
| 中文关键词: 无栅霍尔离子源 离子束辅助沉积 光学薄膜 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 冯毓材 江建国 |
冯毓材(北京东方安泰克高技术有限公司,北京 100101) ;江建国(北京光电技术研究所,北京 100010)
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| 中文摘要: |
| 介绍一种无栅霍尔离子束辅助镀膜系统.并对该系统的特点、性能和应用结果作了叙述. |
| 英文摘要: |
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