|
| 宽光谱膜厚监控仪的研制 |
| Development the instrument of monitoring the thickness of film by wideband spectrum |
| 修订日期:2001-08-30 |
| DOI: |
| 中文关键词: 宽光谱 镀膜 CCD |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 周鹏飞 陈桂莲 等 |
周鹏飞(上海理工大学光电学院上海 200093) ;陈桂莲(上海理工大学光电学院上海 200093) ;张荣福(上海理工大学光电学院上海 200093)
|
| 摘要点击次数: 1798 |
| 全文下载次数: 10 |
| 中文摘要: |
| 在介绍宽光谱膜厚监控原理和评价函数的基础上,重点介绍系统硬件和软件组成,最后给出该仪器的实验结果并对其精度进行分析. |
| 英文摘要: |
| |
| HTML 查看全文 查看/发表评论 下载PDF阅读器 |
| 关闭 |
|
|
|