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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
有限元法计算膜厚均匀性
Simulating uniformity of film thickness with finite-cells method
  修订日期:2001-08-30
DOI:
中文关键词:  膜厚均匀性  发射特性  蒸发源的旋转与倾斜
英文关键词:
基金项目:
阴晓俊  费书国  
阴晓俊(沈阳仪器仪表工艺研究所辽宁沈阳 110043)
;费书国(沈阳仪器仪表工艺研究所辽宁沈阳 110043)
;章月州(沈阳仪器仪表工艺研究所辽宁沈阳 110043)
;孔志坤(沈阳仪器仪表工艺研究所辽宁沈阳 110043)
摘要点击次数: 1973
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中文摘要:
      利用有限元法模拟计算了旋转平面夹具、旋转球面夹具、行星旋转球面夹具的膜厚均匀性,分析了均匀性的影响因素,指出了工艺中的调整方法.
英文摘要:
      
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