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| 有限元法计算膜厚均匀性 |
| Simulating uniformity of film thickness with finite-cells method |
| 修订日期:2001-08-30 |
| DOI: |
| 中文关键词: 膜厚均匀性 发射特性 蒸发源的旋转与倾斜 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 阴晓俊 费书国 等 |
阴晓俊(沈阳仪器仪表工艺研究所辽宁沈阳 110043) ;费书国(沈阳仪器仪表工艺研究所辽宁沈阳 110043) ;章月州(沈阳仪器仪表工艺研究所辽宁沈阳 110043) ;孔志坤(沈阳仪器仪表工艺研究所辽宁沈阳 110043)
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| 中文摘要: |
| 利用有限元法模拟计算了旋转平面夹具、旋转球面夹具、行星旋转球面夹具的膜厚均匀性,分析了均匀性的影响因素,指出了工艺中的调整方法. |
| 英文摘要: |
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