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| 数字光电轮廓仪的研制 |
| The development of surface profiling analyzer |
| 修订日期:2001-06-15 |
| DOI: |
| 中文关键词: 光电轮廓仪,相移器,数模转换 |
| 英文关键词:surface profiling analyzer,phase shifter,A /D converter |
| 基金项目: |
| 郑猛 王慈 等 |
| 上海理工大学光电学院!上海200093 |
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| 中文摘要: |
| 论述了数字光电轮廓仪的研制。以 6JA型干涉显微镜为主体 ,分别介绍了相移器设计和控制、图像采集系统、样机控制电路 ,对测试的结果指标进行了分析 |
| 英文摘要: |
| This paper introducs the development o f surface profiling analyzer.With the 6JA interferometer as the main part,the co ntrol of the phase shifter,the image capturing system and the control circuit us ed in the instrument are proposed.Lastly,the testing result is analyzed. |
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