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| 用于纳米计量的双元扫描隧道显微镜 |
| Dual tunneling unit scanning tunneling microscope for nano-metrology |
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| DOI: |
| 中文关键词: 双隧道单元,扫描隧道显微镜,原子尺,纳米计量 |
| 英文关键词:dual tunneling unit,STM,atomic reference scale,nano-metrology. |
| 基金项目: |
| 张冬仙 黄峰 |
浙江电影学校!杭州310012(张冬仙) ,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!杭州310027(黄峰)
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| 中文摘要: |
| 研制了用于纳米计量的双元扫描隧道显微镜 ,介绍了双元扫描隧道显微镜的原理和仪器系统 ,利用该系统对原子晶格图象进行扫描 ,验证了纳米计量的可行性 ,给出了部分被测样品的纳米计量结果 |
| 英文摘要: |
| A dual tunneling unit scanning tunneling microscopc(DTU-STM) is developed for nano-metrology.This article describes the measurement concept and the instrument of the DTU-STM.The crystalline lattice images were scanned by the DTU-STM to check the feasibility of nano-metrology.One metrological result of test sample image was provided. |
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