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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
用于纳米计量的双元扫描隧道显微镜
Dual tunneling unit scanning tunneling microscope for nano-metrology
  
DOI:
中文关键词:  双隧道单元,扫描隧道显微镜,原子尺,纳米计量
英文关键词:dual tunneling unit,STM,atomic reference scale,nano-metrology.
基金项目:
张冬仙  黄峰
浙江电影学校!杭州310012(张冬仙)
,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!杭州310027(黄峰)
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中文摘要:
      研制了用于纳米计量的双元扫描隧道显微镜 ,介绍了双元扫描隧道显微镜的原理和仪器系统 ,利用该系统对原子晶格图象进行扫描 ,验证了纳米计量的可行性 ,给出了部分被测样品的纳米计量结果
英文摘要:
      A dual tunneling unit scanning tunneling microscopc(DTU-STM) is developed for nano-metrology.This article describes the measurement concept and the instrument of the DTU-STM.The crystalline lattice images were scanned by the DTU-STM to check the feasibility of nano-metrology.One metrological result of test sample image was provided.
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