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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
亚微米投影光刻物镜MTF的简便测定方法
The simplicity method of MTF test for submicron projection lithography lenses
  
DOI:
中文关键词:  光刻物镜,光学调制传递函数,电荷耦合器件
英文关键词:lithography lens,optical modulation transfer function,CCD.,
基金项目:
何上封  陈元培
中国科学院光电技术研究所,成都,610209
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中文摘要:
      线性光学系统的光学传递函数可由线扩散函数的傅里叶变换求出.研究了用电荷耦合器件测量亚微米投影光刻物镜的MTF值的系统,用CCD作为光电转换器件,对CCD接收到的LSF的光强信号进行视频放大、采样,用数字存储示波器可方便地测得系统的MTF值.作为测量实例,最后给出了测量得到的g线、i线光刻物镜的MTF曲线.
英文摘要:
      
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