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| 亚微米投影光刻物镜MTF的简便测定方法 |
| The simplicity method of MTF test for submicron projection lithography lenses |
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| DOI: |
| 中文关键词: 光刻物镜,光学调制传递函数,电荷耦合器件 |
| 英文关键词:lithography lens,optical modulation transfer function,CCD., |
| 基金项目: |
| 何上封 陈元培 |
| 中国科学院光电技术研究所,成都,610209 |
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| 中文摘要: |
| 线性光学系统的光学传递函数可由线扩散函数的傅里叶变换求出.研究了用电荷耦合器件测量亚微米投影光刻物镜的MTF值的系统,用CCD作为光电转换器件,对CCD接收到的LSF的光强信号进行视频放大、采样,用数字存储示波器可方便地测得系统的MTF值.作为测量实例,最后给出了测量得到的g线、i线光刻物镜的MTF曲线. |
| 英文摘要: |
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