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| Φ360mm激光平面干涉仪 |
| φ360mm laser plane interferometer |
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| DOI: |
| 中文关键词: 干涉仪,光学测量,光学制造技术 |
| 英文关键词:interferometer,optical measurement,optical manufacture technology. |
| 基金项目:新材料领域项目,, |
| 李锡善 梁景芳 |
| 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
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| 中文摘要: |
| 为了强激光工程的需要,研究制造了一台口径360mm卧式激光平面干涉仪.仪器的测量精度为λ/20,仪器配有CCD相机图像处理系统,可目测,可拍摄照片,也可进行数字化处理.实用结果表明,该仪器是一台适合于光学车间生产检验的大口径高精度激光平面干涉仪. |
| 英文摘要: |
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