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| DW DM窄带滤光片用高精度光学膜厚仪 |
| Hi-precision Optical Thickness Monitor Applied to Manufacture of Ultra Narrow Band Pass Filter |
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| DOI: |
| 中文关键词: 光学膜厚监控,DWDM滤光片 |
| 英文关键词:Optical Thickness Monitor,DWDM Filter., |
| 基金项目: |
| 孙大雄 菊池和夫 蔡旭阳 唐骐 李正中 |
新科隆株式会社!东京140-8540(孙大雄,菊池和夫,蔡旭阳,唐骐) ,台湾中央大学光电科学研究所!台北320(李正中)
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| 中文摘要: |
| 随着信息技术的发展对高密度波分复用(DWDM)滤光片的需要越来越大。而高精度高性能的光学薄膜膜厚监控系统是制备DWDM 滤光片的关键。文中论述了所建立的制备用于100GHz~50GHz DWDM 滤光片的高精度高性能的光学薄膜膜厚监控系统。该系统的波长分辨力为0.1nm ,重复性精度为±0.05nm 。信噪比与温度漂移特性分别为±0.01% 和0.05% /h。还论述了该系统的实际实验结果。 |
| 英文摘要: |
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