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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
DW DM窄带滤光片用高精度光学膜厚仪
Hi-precision Optical Thickness Monitor Applied to Manufacture of Ultra Narrow Band Pass Filter
  
DOI:
中文关键词:  光学膜厚监控,DWDM滤光片
英文关键词:Optical Thickness Monitor,DWDM Filter.,
基金项目:
孙大雄  菊池和夫  蔡旭阳  唐骐  李正中
新科隆株式会社!东京140-8540(孙大雄,菊池和夫,蔡旭阳,唐骐)
,台湾中央大学光电科学研究所!台北320(李正中)
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中文摘要:
      随着信息技术的发展对高密度波分复用(DWDM)滤光片的需要越来越大。而高精度高性能的光学薄膜膜厚监控系统是制备DWDM 滤光片的关键。文中论述了所建立的制备用于100GHz~50GHz DWDM 滤光片的高精度高性能的光学薄膜膜厚监控系统。该系统的波长分辨力为0.1nm ,重复性精度为±0.05nm 。信噪比与温度漂移特性分别为±0.01% 和0.05% /h。还论述了该系统的实际实验结果。
英文摘要:
      
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