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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
C/Al软X射线多层膜反射镜的制备与测量
C/Al Soft X-ray Multilayer Mirrors
  
DOI:
中文关键词:  软X射线,多层膜反射镜
英文关键词:Soft X ray,Multilayer Mirrors
基金项目:国家科委863 高科技项目
吕俊霞  马月英  裴舒  曹健林
中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室!长春130022(吕俊霞,马月英,裴舒)
,中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室!长(曹健林)
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中文摘要:
      在λ= 28.5nm 波长处,我们选择了一种新的多层膜材料对C/Al。正入射C/Al多层膜在15.0nm 附近有很低的二级衍射峰。磁控溅射法制备的C/Al多层膜样品,用X射线小角衍射法对其结构进行了测试,并测得C/Al软X射线多层膜的正入射反射率22% ±4% 。
英文摘要:
      
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