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| C/Al软X射线多层膜反射镜的制备与测量 |
| C/Al Soft X-ray Multilayer Mirrors |
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| DOI: |
| 中文关键词: 软X射线,多层膜反射镜 |
| 英文关键词:Soft X ray,Multilayer Mirrors |
| 基金项目:国家科委863 高科技项目 |
| 吕俊霞 马月英 裴舒 曹健林 |
中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室!长春130022(吕俊霞,马月英,裴舒) ,中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室!长(曹健林)
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| 中文摘要: |
| 在λ= 28.5nm 波长处,我们选择了一种新的多层膜材料对C/Al。正入射C/Al多层膜在15.0nm 附近有很低的二级衍射峰。磁控溅射法制备的C/Al多层膜样品,用X射线小角衍射法对其结构进行了测试,并测得C/Al软X射线多层膜的正入射反射率22% ±4% 。 |
| 英文摘要: |
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