|
| 光学薄膜制备中的激光测温技术 |
| Substrate Temperature Measurement by Laser Used in Fabrication of Optical Thin Films |
| |
| DOI: |
| 中文关键词: 光学薄膜,激光测温 |
| 英文关键词:Optical Thin Films,Measuring Temperature by Laser |
| 基金项目: |
| 沈元华 陈元杰 马秀芳 |
| 复旦大学物理系!上海200433 |
| 摘要点击次数: 2002 |
| 全文下载次数: 10 |
| 中文摘要: |
| 概述激光测温技术在光学薄膜制备中的应用及其在自动化方面的新进展 |
| 英文摘要: |
| The paper describes the application of substrate temperature measurement by laser in fabrication of optical thin films and the new progress in automation of this method. |
| HTML 查看全文 查看/发表评论 下载PDF阅读器 |
| 关闭 |