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| 等离子辅助成膜技术 |
| Plasma Ion Assisted Deposition Technique |
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| DOI: |
| 中文关键词: 光学膜,离子辅助沉积,等离子辅助沉积 |
| 英文关键词:Optical Coatinags, Ion Assisted Deposition, Plasma Assisted Evaporation. |
| 基金项目:国家自然科学基金 |
| 林永昌 尤大纬 李晓谦 沈立新 郑陪雨 |
北京理工大学光电工程系!北京100081(林永昌) ,中科院空间中心!北京100081(尤大纬,李晓谦) ,北京仪器厂!北京100022(沈立新,郑陪雨)
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| 中文摘要: |
| 等离子辅助沉积技术是一种能大规模高质量制造光学膜的技术,报道了我们研制的等离子辅助源的性能指标,用这个源制造的TiO2 膜工艺与成膜质量,以及用等离子辅助生产减反膜的工艺。 |
| 英文摘要: |
| Plasma ion assisted deposition is a powerful technology for the production of optical coatings. This paper mainly discusses the performance specification of plasma source, technology and quality of TiO 2 coatings and the technology for antireflection coatings deposited with plasma IAD. |
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