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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
用脉冲多弧离子源研制镍铬铁合金膜
Study on Nickel Chrom-Iron Alloy Film by Means of The Pulse Multi-arc Ion Source
  
DOI:
中文关键词:  镍铬铁合金膜,薄膜沉积,离子镀,均匀性,工艺参数,薄膜性能
英文关键词:Nickel chrome iron Alloy Film, Film Deposition, Ion Plating, Uniformity, Technology Parameter, Film Property.
基金项目:
蔡长龙  杭凌侠  严一心  李宸章
西安工业学院仪器工程系!西安710032(蔡长龙,杭凌侠,严一心)
,西安西北光电仪器厂!西安710000(李宸章)
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中文摘要:
      介绍了采用脉冲多弧离子源镀制镍铬铁合金膜的新技术,研究了采用这一新技术镀制镍铬铁合金膜的镀制工艺,对采用这一新技术所镀制的镍铬铁合金膜进行了性能测试。结果表明:选用合适的工艺参数,采用这一新技术镀制的镍铬铁合金膜膜层均匀,牢固度好,膜层成分与脉冲多弧离子源阴极靶材成分含量误差小于±3% ,符合实际应用要求
英文摘要:
      
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