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| 用脉冲多弧离子源研制镍铬铁合金膜 |
| Study on Nickel Chrom-Iron Alloy Film by Means of The Pulse Multi-arc Ion Source |
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| DOI: |
| 中文关键词: 镍铬铁合金膜,薄膜沉积,离子镀,均匀性,工艺参数,薄膜性能 |
| 英文关键词:Nickel chrome iron Alloy Film, Film Deposition, Ion Plating, Uniformity, Technology Parameter, Film Property. |
| 基金项目: |
| 蔡长龙 杭凌侠 严一心 李宸章 |
西安工业学院仪器工程系!西安710032(蔡长龙,杭凌侠,严一心) ,西安西北光电仪器厂!西安710000(李宸章)
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| 中文摘要: |
| 介绍了采用脉冲多弧离子源镀制镍铬铁合金膜的新技术,研究了采用这一新技术镀制镍铬铁合金膜的镀制工艺,对采用这一新技术所镀制的镍铬铁合金膜进行了性能测试。结果表明:选用合适的工艺参数,采用这一新技术镀制的镍铬铁合金膜膜层均匀,牢固度好,膜层成分与脉冲多弧离子源阴极靶材成分含量误差小于±3% ,符合实际应用要求 |
| 英文摘要: |
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