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| 采用多层膜偏光器的EUV实验室Farady旋光测量装置(英文) |
| Laboratory EUV Faraday-rotation Apparatus Using Multilayer Polarizers |
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| DOI: |
| 中文关键词: EUV多层膜,Faraday旋转,偏光器 |
| 英文关键词:EUV Multilayer,Faraday rotation,Polarizer. |
| 基金项目: |
| 胡卫兵 羽多野忠 渡边诚 |
中国科学院长春光学精密机械研究所!长春130022(胡卫兵) ,日本东北大学科学计测研究所(羽多野忠,渡边诚)
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| 中文摘要: |
| 开发了用于实验室的EUV(50~70eV)波段的Faraday 旋光测量装置。其中光源采用了激光等离子体光源。起偏器和检偏器均采用了入射角为准Brew ster角的反射式Al/YB6多层膜。利用4 块Sm -Co 永久磁铁在被测样品处生成了0.82T的磁场。对强磁材料Ni的M2,3吸收端进行了Faraday 旋光测量,测量结果在65.3eV处为- 2.7°/21nm 。该结果与我们在同步辐射光源上测量的结果相符合。这是EUV 波段首次利用激光等离子体光源成功进行的磁光效应测量实验。 |
| 英文摘要: |
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