用户登录
期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
28.4nm和30.4nm波段的C/Si多层膜
C/Si Multilayer Mirrors for 28.4nm and 30.4nm Wavelength
  
DOI:
中文关键词:  X射线光学,多层膜反射镜,离子束溅射
英文关键词:X ray Optics,Multilayer Mirrors,Ion beam sputtering.,
基金项目:
王国田  马月英  曹健林
中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室!长春130022
摘要点击次数: 1962
全文下载次数: 13
中文摘要:
      对于宇宙的探讨,特别是对太阳大气层的研究,需要用X射线、极紫外及远紫外波段望远镜来观测。我们报道了一种新的材料组合C/Si用于28.4nm(43.65eV)和30.4nm (40.78eV)波段的多层膜反射镜,并且用离子束溅射装置制备了正入射条件下的C/Si多层膜反射镜。同时,我们用软X射线反射计测量了其反射率,在正入射条件下测得最大反射率达14% (30.4nm )。
英文摘要:
      To investigate the cosmic space,specially,the temperature structers of hot solor,we need X ray and extreme ultraviolet wavelength telescope for observing.We report a new material combination,C/Si,for normal incidence multilayer mirrors in the 28.4nm and 30.4nm wavelength.The multilayers,fabricated by ion beam sputtering deposition,were measured for the period structure by using X ray diffraction measurement and for the reflectance by using reflectometer.
HTML   查看全文  查看/发表评论  下载PDF阅读器
关闭