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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
采用多层膜偏光器的EUV实验室Farady旋光测量装置
  
DOI:
中文关键词:  多层膜  偏光器  旋光测量装置
英文关键词:
基金项目:
胡卫兵  羽多野忠
[1]中国科学院长春光学精密机械研究所 [2]日本东北大学科学计测研究所
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中文摘要:
      开发了用于实验室的EUV(50~70eV0波牟Faraday旋光测量装置。其中光源采用了激光等离子体光源。起偏器检偏器均采用了入射角为准Brewster角的反射式AI/HB6多层膜,利用块Sm-C0永久磁铁在波测样品处生成了0.82T的磁场。对强磁材料NI和M2,3吸收端进行了Faraday旋光测量,测量结果在65.3eV处为-2.70°/21nm。该结果与我们在同步辐射光源上测量的结果相符合。这
英文摘要:
      
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