|
| 采用多层膜偏光器的EUV实验室Farady旋光测量装置 |
|
| |
| DOI: |
| 中文关键词: 多层膜 偏光器 旋光测量装置 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 胡卫兵 羽多野忠 |
| [1]中国科学院长春光学精密机械研究所 [2]日本东北大学科学计测研究所 |
| 摘要点击次数: 1741 |
| 全文下载次数: 11 |
| 中文摘要: |
| 开发了用于实验室的EUV(50~70eV0波牟Faraday旋光测量装置。其中光源采用了激光等离子体光源。起偏器检偏器均采用了入射角为准Brewster角的反射式AI/HB6多层膜,利用块Sm-C0永久磁铁在波测样品处生成了0.82T的磁场。对强磁材料NI和M2,3吸收端进行了Faraday旋光测量,测量结果在65.3eV处为-2.70°/21nm。该结果与我们在同步辐射光源上测量的结果相符合。这 |
| 英文摘要: |
| |
| HTML 查看全文 查看/发表评论 下载PDF阅读器 |
| 关闭 |