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| DWDM窄带滤光片用高精度光学膜厚仪 |
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| DOI: |
| 中文关键词: 光学膜厚监控 DWDM 滤光片 膜厚仪 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 孙大雄 李正中 |
| [1]新科隆株式会社 [2]台湾中央大学光电科学研究所 |
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| 中文摘要: |
| 随着信息技术的发展对高密度波分复用(DWDM)滤光片的需要越来越大。而高精度性能的光学薄膜膜厚监控系统是制备DWDM滤光片的关键,文中论述了所建立的制备用100GHz~50GHz DWDM滤光片的高精度高性能的光学膜膜厚监控系统。该系统的波长分辨力的0.1nm,重复性精度为±0.05nm,信噪比与温度漂移特性分别±0.01%和0.05%/h。还论述了该系统的实际实验结果。 |
| 英文摘要: |
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