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| 光学薄膜的堆积密度及密度均匀性的分析与计算 |
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| DOI: |
| 中文关键词: 光学薄膜 堆积密度 密度均匀性 微结构 |
| 英文关键词: |
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| 唐骐 菊池和夫 |
| 新科隆株式会社 |
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| 中文摘要: |
| 光学薄膜的推积密度通常是利用薄膜在真空及大气中折射率的变化来计算,在IA保,我们发现有些薄膜的推积密度大于1.0,这意味着薄膜的密度比介中的材料密度还要密积,原因是薄膜具有较大的内压应力,我们还发现薄膜的波漂不依从于堆积密度。这是因为它们在不同的蒸发条件下具有不同的密度均匀性,在用EB及不同条件的IAD的情况下,我们计算并分析了堆积密度及密度均匀系数,并用SEM观察了薄膜的微结构。 |
| 英文摘要: |
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