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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
C/AI软X射线多层膜反射镜的制备与测量
  
DOI:
中文关键词:  软X射线  多层膜  反射镜  制备  测量
英文关键词:
基金项目:
吕俊霞  马月英
[1]中国科学院长春光学必机械研究所应用光学国家重点实验室 [2]中国科学院长春光学必机械研究所应用光学国家重点实
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中文摘要:
      在λ=28.5nm波长处,我们选择了一种新的多层膜材料对C/AI。正入射A/AI多层膜在15.0nm附近有很低的二级衍射峰。磁控溅射法制备的C/AI多层膜样品,用X射线小角衍射法对其结构进行了测试,并测得C/AI软X射红多层膜的正入以射率22%±4%。
英文摘要:
      
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