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| C/AI软X射线多层膜反射镜的制备与测量 |
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| DOI: |
| 中文关键词: 软X射线 多层膜 反射镜 制备 测量 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 吕俊霞 马月英 |
| [1]中国科学院长春光学必机械研究所应用光学国家重点实验室 [2]中国科学院长春光学必机械研究所应用光学国家重点实 |
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| 中文摘要: |
| 在λ=28.5nm波长处,我们选择了一种新的多层膜材料对C/AI。正入射A/AI多层膜在15.0nm附近有很低的二级衍射峰。磁控溅射法制备的C/AI多层膜样品,用X射线小角衍射法对其结构进行了测试,并测得C/AI软X射红多层膜的正入以射率22%±4%。 |
| 英文摘要: |
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