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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
荷能离子束沉积的氧化物膜光学性质
  
DOI:
中文关键词:  离子辅助沉积  光学特征  氧化物薄膜  减反射膜
英文关键词:
基金项目:
郭屏  郑舒颖
[1]北京师范大学物理系 [2]北京光电技术研究所
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中文摘要:
      报道在不加热的基底上,由双离子束溅射或离子辅助的电子束蒸发技术制的ZrO2和TiO2单摹光学性质,并提供卫工艺参数和离子束设备的说情。这两种荷 能离子束工艺已被用于光学多层膜,如减反射膜和短波通滤光片的制备
英文摘要:
      
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