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| 应用等离子体离子辅助技术沉积的锗基底红外减反射膜 |
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| DOI: |
| 中文关键词: 减反射膜 离子辅助沉积 红外光学薄膜 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 苏星 马莜梅 |
| 昆明物理研究所 |
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| 中文摘要: |
| 红外光学系统大多数均采用锗作为透镜和窗口的材料,由于其折射率高达4.0,引起的反射损失较大,降低了红外光能量的透过率和红外成像系统的能力。为了减少锗表面的反射损失,我们研制了高性能的红外减反射膜,使锗透镜的红外透射率高达98%以上。通过等离子体离子辅助沉积技术的应用,。获得了耐久性能优异的红外减反投奔膜,满足了杜瓦瓶封接钎焊工艺对窗口膜层的苛求。 |
| 英文摘要: |
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