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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
考夫曼型离子源工作稳定性研究
  
DOI:
中文关键词:  离子源  稳定性  热屏蔽  镀膜
英文关键词:
基金项目:
李守中  杨益民
兰州五一0研究所
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中文摘要:
      用于离子束辅助轰击镀膜的考夫曼型变孔戏球面栅离子源,由于缩小了体积,散热条件不好,离子源启动后温度迅速上长,陶瓷绝缘子的绝缘强度迅速降低,永久磁铁的磁场强度也下降,致使离子源的连续有效工作时间不足半小时。采用多处屏蔽后,延长了陶瓷绝缘子和磁棒处于较低工作温度的时间,合资离子源的连续有效工作时间达到了一小时,基本满足了辅助轰击镀膜的要求。
英文摘要:
      
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