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| 用脉冲多弧离子源研制镍铬铁合金膜 |
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| DOI: |
| 中文关键词: 镍铬铁合金膜 薄膜沉积 离子镀 离子源 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 蔡长龙 李宸章 |
| [1]西安工业学院仪器工程系 [2]西安西北光电仪器厂 |
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| 中文摘要: |
| 介绍了采用脉冲多弧离子源镀制镍铬铁合金膜的新技术,研究了采用这一新技术镀制镍络铁合金膜的镀制工艺,对采用这一新技术氙镀制的镍络铁合金膜进行了性能测试。结果表明:选用合适的工艺参数,采用这一新技术镀制的镍铬铁合金膜膜层均匀,牢固度好,膜层尬发与脉冲多弧离子源阴析靶材成分含量误差小±3%,符合实际应用要求。 |
| 英文摘要: |
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