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| 用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜 |
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| DOI: |
| 中文关键词: 软X射线 多层膜 离子束溅射 反射率计 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 王国田 马月英 |
| [1]中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室 [2]中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重 |
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| 中文摘要: |
| 叙述了用离子束溅射镀膜机OXFORD进行X射线长波段多层实验及制备X躬一多层膜光学元件方面的工作。简述离子束溅射镀膜机的工作原理,X射线多摹制备过程,主要工艺参数,以及用X射线小角衍射仪对制备样品周期结构的检测和用软X射线反射率计测反射率的部分结果。 |
| 英文摘要: |
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