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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜
  
DOI:
中文关键词:  软X射线  多层膜  离子束溅射  反射率计
英文关键词:
基金项目:
王国田  马月英
[1]中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室 [2]中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重
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中文摘要:
      叙述了用离子束溅射镀膜机OXFORD进行X射线长波段多层实验及制备X躬一多层膜光学元件方面的工作。简述离子束溅射镀膜机的工作原理,X射线多摹制备过程,主要工艺参数,以及用X射线小角衍射仪对制备样品周期结构的检测和用软X射线反射率计测反射率的部分结果。
英文摘要:
      
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