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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
InP系波导和光电探测器的单片集成器件制作
The Fabrication of Monolithic Integration of InP Optical Waveguide and Photodetector
  
DOI:
中文关键词:  光波导,PIN探测器,光电集成电路(OEIC)
英文关键词:Optical Waveguide,PIN Photodetector,OEIC
基金项目:
吕章德  杨易  程宗权
浙江绍兴文理学院物理系,中科院上海冶金研究所
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中文摘要:
      报道了应用液相外延(LPE)方法,制作了InP/InGaAsP/InGaAs半导体光波导和InGaAs-PIN光电探测器的单片集成器件,器件性能的几个主要参数与国外的同类器件相近
英文摘要:
      The fabrication of monolithic integration of InP/InGaAsP/InGaAs semiconductor optical waveguide and InGaAs PIN photodetector using liquid phase epitaxy(LPE) method is reported. The principal paraneters representing the performance of this device are closed to the level of foreign devices.
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