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| 一种新型的动态光扫描测试技术 |
| A New Dynamic Testing Technique of Light Scanning |
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| DOI: |
| 中文关键词: 位置传感器(PSD),动态测试 |
| 英文关键词:PSD, Dynamic Testing., |
| 基金项目:国家863资助课题 |
| 舒晓武 |
| 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!杭州310027 |
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| 中文摘要: |
| 介绍了一种利用光电位置传感器(PSD)的动态光扫描测试技术,光电位置传感器的误差标定方法及电路设计原理。其电路具有信号处理简单,分辨力高,精度高,对测量光强不敏感等优点。 |
| 英文摘要: |
| In this paper, the new photo-electric position sensitive detector has been detailed, which has advantages of short response time, high resolution and high precision. |
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