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| 原子力显微镜试验装置 |
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| 鲁徐青 |
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| 由上海光学仪器研究所研制完成的原子力显微镜试验装置于1998年10月通过市级鉴定。原子力显微镜(AFM)系上海市科委下达的科技攻关项目。旨在克服扫描隧道显微镜只能测量导电体的缺点。用于测量表面微小结构。它具有极高的分辨率(可获得0.1mm的横向分辨率和0.1mm的纵向分辨率),可进行材料表面纳米量级的微观测量。因此,广泛用于超级计量材料结构、微电子学、固体物理、生物、化学等领域。试验装置的内容包括:(1)原子力测量探头系统。(2)稳定可靠的低噪声、微电子控制技术。经过2年多的努力,现已完成原子力… |
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