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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
原子力显微镜试验装置
  
DOI:
中文关键词:  
英文关键词:
基金项目:
鲁徐青
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中文摘要:
      由上海光学仪器研究所研制完成的原子力显微镜试验装置于1998年10月通过市级鉴定。原子力显微镜(AFM)系上海市科委下达的科技攻关项目。旨在克服扫描隧道显微镜只能测量导电体的缺点。用于测量表面微小结构。它具有极高的分辨率(可获得0.1mm的横向分辨率和0.1mm的纵向分辨率),可进行材料表面纳米量级的微观测量。因此,广泛用于超级计量材料结构、微电子学、固体物理、生物、化学等领域。试验装置的内容包括:(1)原子力测量探头系统。(2)稳定可靠的低噪声、微电子控制技术。经过2年多的努力,现已完成原子力…
英文摘要:
      
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