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| 新型压电光学扫描器的性能分析及控制 |
| The Characteristics of PZTA and its Controlling System |
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| DOI: |
| 中文关键词: 压电陶瓷,压电扫描器,转动惯量 |
| 英文关键词:PZT, PZTA, Rotating inertia. |
| 基金项目:国家863重点资助 |
| 舒晓武 |
| 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!杭州310027 |
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| 中文摘要: |
| 详细分析了压电扫描器的机械特性,及其对扫描特性的影响,通过调整输入波形的形式来修正压电扫描器的扫描畸变,从而达到计算机控制压电扫描器扫描的高精度和可控性。压电扫描器的扫描角度能达到3°以上,扫描频率为20Hz以上,扫描线性度为 1%。 |
| 英文摘要: |
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