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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
一种双焦干涉平面微观轮廓仪
A Double-focus Interference Planar Profilometer
  
DOI:
中文关键词:  偏振移相,电子共模抑制,人机界面,比对,重复性
英文关键词:Polarization phase shift. Electronic Common Mode Rejection, Interface between Human and machine Comparison Repetibility
基金项目:
程华山
浙江大学光电信息工程系!杭州310027
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中文摘要:
      激光双焦干涉表面微观轮廓仪在测量原理上首次实现完全共路干涉和无需参考面的突破,为在加工现场对超光滑表面的实时检测提供了可能。本文论述了一种产品化的双焦干涉平面微观轮廓仪的测试原理和控制过程,着重介绍其软件的功能结构和关键算法,最后给出了和进口Wyko轮廓仪比对的结果。
英文摘要:
      Laser Double-focus Interference Profilometer first makes a breakthrough in totally common path interference without reference surface. The principle and control processo f a Double-focus Interference Planar Profilometer is introduced in this article,paying moreattention to its software structure and the key algorithm. Finally we give the results of thecomparisom with Wyko profilometer.
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